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電火花加工是通過電極接脈沖電源的負極，工件接脈沖電源的正極，高頻脈沖電源通電后，當工件與電極之間的距離小于放電距離時，脈沖電能使介質（工作液）電離擊穿，形成放電通道，在電場力的作用下，大量的帶負電荷的電子高速奔向正極，帶正電荷的離子奔向負極，由于電離而產生的高溫使工件表面熔化，甚至汽化，使金屬隨著電極的移動及工作液的沖擊而被拋出，從而在工件表面形成凹坑。
以此原理發展了：電火花成型機床，電火花線切割機床，電火花穿孔機床等。
最特出的優勢是對硬，軟材質，金屬加工性能的改善變得可能。如硬質合金，紫銅，不銹鋼